微型機(jī)器人電子失能系統(tǒng)是一種特定的MEMS，它具有六個(gè)部分，包括傳感器系統(tǒng)、信息處理與自主導(dǎo)系統(tǒng)、機(jī)動(dòng)系統(tǒng)、破壞系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)電源。這種MEMS具有一定的自主能力，并擁有初步的機(jī)動(dòng)能力，當(dāng)需要攻擊敵方的電子系統(tǒng)時(shí)，無(wú)人駕駛飛機(jī)就投放這些MEMS。其中的一種方案是利用昆蟲(chóng)作為平臺(tái)，通過(guò)刺激昆蟲(chóng)的神經(jīng)來(lái)控制昆蟲(chóng)完成接近目標(biāo)的過(guò)程。通過(guò)這樣的MEMS可以無(wú)聲無(wú)息地破壞敵方的主要目標(biāo)，有相當(dāng)?shù)膽?zhàn)略意義。