超大規模集成電路（VLSI）和微電子系統在多個方面存在顯著的區別。

首先，從定義和特性上看，超大規模集成電路是指在單個芯片上集成數百萬、甚至數十億個晶體管及其相關元器件，實現高度復雜功能的芯片。這些功能可以包括處理器、存儲器、通信設備等等，具有極高的靈活性和可擴展性。而微電子系統則是一個更為廣泛的概念，它涉及到將電路、器件和元件等微型化、集成化的技術，其工作主要是通過固體內的微觀電子運動來實現信息的處理或信息加工。

其次，從設計流程和應用領域來看，集成電路設計主要關注電路設計、電路模擬、版圖設計、版圖驗證等步驟，主要應用于通信、消費電子、計算機等領域。而集成系統的設計流程則包括需求分析、架構設計、模塊設計、測試與驗證等步驟，其應用領域更為廣泛，包括物聯網、智能制造、智能家居、生物醫學工程等新興領域。

最后，從發展趨勢上看，超大規模集成電路設計正朝著更高密度、更快速度、更低功耗的方向發展，而集成系統則朝著更廣范圍、更深層次、更高靈活性的方向發展。盡管兩者在設計和應用領域有所不同，但它們的發展趨勢呈現出相互促進的特點，為未來的科技創新和應用拓展提供了更廣闊的空間。

綜上所述，超大規模集成電路和微電子系統在定義、特性、設計流程、應用領域和發展趨勢等方面存在明顯的區別。兩者各有側重，但都在推動電子技術的不斷發展和創新。